煙(yān)氣排放(fàng)在線監測系統_污染源煙(yān)氣排放(fàng)在線監-博測環境

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半導體(tǐ)IC／晶圓制造廠煙(yān)氣排放(fàng)在線監測

【關(guān)鍵點】:ppm級，同時(shí)多測點監測， SO2、NOx、HCl、HF、Cl2、NH3等，以及VOCs氣體(tǐ)。

【産品簡介】:BO-SYS400IC滿足同時(shí)監測全部排口，多種因子(zǐ)，包括了(le)酸性氣體(tǐ)、堿性氣體(tǐ)和VOCs氣體(tǐ)。該系統采用了(le)先進的光譜法（UV/IR）監測酸堿氣體(tǐ)和氣相色譜法（GC-FID）監測VOCs氣體(tǐ)。

【應用領域】:半導體(tǐ)IC集成電路(lù)制造廠、晶圓制造廠。

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産品詳情

一(yī)、産品介紹

半導體(tǐ)集成電路(lù)（IC）/晶圓制造是我國重點扶持和發展的領域，在生(shēng)态環境保護方面，IC/晶圓制造廠也(yě)在加大投入污染治理(lǐ)和污染物在線監控，以降低(dī)對生(shēng)态環境和居民(mín)的影響。

煙(yān)氣排放(fàng)在線監測

二、半導體(tǐ)IC／晶圓制造廠煙(yān)氣排放(fàng)在線監測技術特點

然而，IC/晶圓制造廠的廢氣/煙(yān)氣排放(fàng)煙(yān)囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排口，每個(gè)Fab廠都有十到幾十個(gè)煙(yān)囪排口，而且酸性氣體(tǐ)多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個(gè)煙(yān)囪排口進行在線監測，就(jiù)需要綜合考慮國際上(shàng)先進的監測技術和建設經濟效益，選擇最優的解決方案。

三、BO-SYS400IC解決方案

BO-SYS400IC是我司針對上(shàng)述難點所提供的整體(tǐ)解決方案，滿足同時(shí)監測全部排口，多種因子(zǐ)，包括了(le)酸性氣體(tǐ)、堿性氣體(tǐ)和VOCs氣體(tǐ)。該方案采用了(le)先進的光譜法（UV/IR）監測酸堿氣體(tǐ)和氣相色譜法（GC-FID）監測VOCs氣體(tǐ)。

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