半導體(tǐ)等電子(zǐ)工業監測站(zhàn)解決方案

背景概述

半導體(tǐ)/電子(zǐ)工業是我國重點扶持和發展的領域，在生(shēng)态環境保護方面，半導體(tǐ)/電子(zǐ)工業制造廠也(yě)在加大投入污染治理(lǐ)和污染物在線監控，以降低(dī)對生(shēng)态環境和居民(mín)的影響。然而，半導體(tǐ)/電子(zǐ)工業制造廠的廢氣／煙(yān)氣排放(fàng)煙(yān)囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排口，每個(gè)Fab廠都有十到幾十個(gè)煙(yān)囪排口，而且酸性氣體(tǐ)多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個(gè)煙(yān)囪排口進行在線監測，就(jiù)需要綜合考慮國際上(shàng)先進的監測技術和建設經濟效益，選擇最優的解決方案。

行業類型：半導體(tǐ)等電子(zǐ)工業

主要監測因子(zǐ)：NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等。

解決方案概述：博測環境提供的整體(tǐ)解決方案是采用非接觸式差分(fēn)吸收光譜法（DOAS），使用一(yī)條光路(lù)貫穿整個(gè)管道。光束通過光纖傳輸到分(fēn)析儀，而這(zhè)個(gè)分(fēn)析儀又同時(shí)監測幾個(gè)路(lù)徑。滿足同時(shí)監測全部排口，多種因子(zǐ)，包括了(le)酸性氣體(tǐ)、堿性氣體(tǐ)和VOCs氣體(tǐ)。該方案采用了(le)先進的光譜法（UV/IR）監測酸堿氣體(tǐ)和氣相色譜法（GC-FID）監測VOCs氣體(tǐ)。如(rú)下(xià)圖：

……項目