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中芯國際HF、HCl、CL2、NH3在線監測

返回列表 來(lái)源： 發布日期：2018-12-20

項目類型：中芯國際集成電路(lù)制造（北京）有限公司污染源在線監測系統
 應用場(chǎng)景：采用了(le)OPSIS SYSTEM 400拖帶監測的方案，實現(xiàn)套系統拖帶監測多條煙(yān)囪廢氣的功能(néng)
 監測項目：HF、HCl、CL2、 NH3
 系統結構圖：




  采用一(yī)套OPSIS SYSTEM 400在線監測系統，使用AR600紫外差分(fēn)吸收光譜分(fēn)析儀一(yī)台，搭配MX012多路(lù)器(qì)實現(xiàn)單台分(fēn)析儀連續循環測量多條煙(yān)囪的功能(néng)，該系統對#1~#3煙(yān)囪的NH3堿性氣體(tǐ)進行一(yī)拖三的在線監測。由于R型光纖的長度有一(yī)定的限制，距離站(zhàn)房(fáng)較遠(yuǎn)的#3煙(yān)囪使用快(kuài)速循環回路(lù)（FastLoop）進行監測。



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